微電子超純水是指化學(xué)純度高的水，其主要應(yīng)用在生物、化學(xué)化工、冶金、宇航、電力等領(lǐng)域，但其對(duì)水質(zhì)純度要求相當(dāng)高，所以一般應(yīng)用普遍的還是電子行業(yè)。

　　微電子超純水設(shè)備技術(shù)特點(diǎn)：

　　1、一種采用離子交換樹脂其優(yōu)點(diǎn)在于初投資少，占用的地方少，但缺點(diǎn)就是需要經(jīng)常進(jìn)行離子再生，耗費(fèi)大量酸堿，而且對(duì)環(huán)境有一定的破壞。

　　2、二種采用反滲透作為預(yù)處理再配上離子交換設(shè)備，其特點(diǎn)為初投次比采用離子交換樹脂方式要高，但離子設(shè)備再生周期相對(duì)要長，耗費(fèi)的酸堿比單純采用離子樹脂的方式要少很多。但對(duì)環(huán)境還是有一定的破壞性。

　　3、三種采用反滲透作預(yù)處理再配上電去離子裝置，這是目前制取超純水經(jīng)濟(jì)，環(huán)保用來制取超純水的工藝，不需要用酸堿進(jìn)行再生便可連續(xù)制取超純水，對(duì)環(huán)境沒什么破壞性。

　　微電子超純水設(shè)備維護(hù)方式：

　　為了保證超純水設(shè)備長期穩(wěn)定運(yùn)行、時(shí)刻保持出水質(zhì)量符合生產(chǎn)使用標(biāo)準(zhǔn)，必須對(duì)設(shè)備進(jìn)行定期維護(hù)。EDI模塊是純水制取裝置中的一項(xiàng)技術(shù)，此模塊的價(jià)位較為昂貴。所以為了降低企業(yè)投資成本，也要對(duì)它進(jìn)行保養(yǎng)維護(hù)。為了避免雜質(zhì)在模塊內(nèi)堆積，要對(duì)其進(jìn)行定期清洗。在設(shè)備運(yùn)行過程中保持壓力穩(wěn)定。膜元件在純水制取中起到去除污染物質(zhì)的功效，它具有孔徑微小的特點(diǎn)，所以，對(duì)該元件要進(jìn)行定期清洗和更換，避免雜質(zhì)常年堆積導(dǎo)致膜元件受到污染或者堵塞，直接影響產(chǎn)水質(zhì)量。